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SemiTool 870-S double stack SRD. Top unit suitable for up to 150 mm substrates, bottom rotor suitable for 100m, round substrates. |
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Top - 150mm Round
Bottom - 100mm Round
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Contacts
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System Features
| Top Rotor | 150 mm (A190-60M-0215) |
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| Botom Rotor | 100 mm (A190-40M-0215) |
| Nitrogen | N2 purge saver |
| Control | Sitek SlickDevice SI touch screen controller |
| Recipes | Up to 20 programmable recipes |
| Capacity | 25 wafers |
Key Documents
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Staff Documents
Drive Folder
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